Siliciumcarbide componenten voor halfgeleiderapparatuur

Siliciumcarbidecomponenten voor halfgeleiderapparatuur

HuaCera siliciumcarbide heeft een thermische uitbreidingscoëfficiënt die overeenkomt met die van silicium en heeft een hoge elastische modulus, hoge stijfheid, chemische traagheid, extreem hoge slijtvastheid,en dimensionale thermische stabiliteit.
Met behulp van goedkope vormmethoden zoals droge persing en koud isostatisch persing, met behoud van een hoge zuiverheid (meer dan 99,9%),het is een ideale keuze voor apparatuur voor halfgeleiderlithografie, wafermetrologie, binding en reiniging
de processen.
De belangrijkste toepassingen zijn: vacuümschalen, precisiecomponenten (geleidingsrails, platforms, bases), siliciumcarbide spiegels, dragers, robotarmen en andere structurele componenten,en kan ook worden gebruikt als hoogtemperatuurovenbuizen.